Institution
Lawrence Livermore National Laboratory
A US Department of Energy national laboratory in Livermore, California, founded in 1952 primarily for nuclear weapons research. It has also been a central player in EUV lithography: in the 1980s and 1990s, Livermore physicists developed the multilayer molybdenum-silicon coatings that make EUV mirrors possible, work that was later transferred to industry through the EUV LLC consortium.
位于加利福尼亚州利弗莫尔的美国能源部国家实验室，成立于1952年，最初主要用于核武器研究。它也是极紫外（EUV）光刻技术发展的核心参与者：在20世纪80年代和90年代，利弗莫尔的物理学家开发了使EUV反射镜成为可能的多层钼-硅涂层，这一成果后来通过EUV有限责任公司（EUV LLC）联盟转移到了工业界。
Laboratorio nacional del Departamento de Energía de EE. UU. en Livermore, California, fundado en 1952 principalmente para la investigación de armas nucleares. También desempeñó un papel clave en la litografía EUV: en las décadas de 1980 y 1990, sus físicos desarrollaron los recubrimientos multicapa de molibdeno y silicio para los espejos de EUV.
مختبر وطني تابع لوزارة الطاقة الأمريكية في ليفرمور، كاليفورنيا، تأسس عام 1952 لإجراء أبحاث الأسلحة النووية في المقام الأول. كان أيضاً لاعباً رئيسياً في الطباعة الحجرية بالأشعة فوق البنفسجية القصوى: ففي الثمانينيات والتسعينيات، طور فيزيائيو المختبر طلاءات الموليبدينوم والسيليكون متعددة الطبقات التي تجعل مرايا الأشعة فوق البنفسجية ممكنة.
Um laboratório nacional do Departamento de Energia dos EUA em Livermore, Califórnia, fundado em 1952 principalmente para investigação de armas nucleares. Foi também um elemento central na fotolitografia EUV: nas décadas de 1980 e 1990, os físicos de Livermore desenvolveram os revestimentos multicamada de molibdénio-silício que viabilizam os espelhos EUV.
कैलिफोर्निया के लिवरमोर में स्थित अमेरिकी ऊर्जा विभाग की राष्ट्रीय प्रयोगशाला, जिसकी स्थापना मुख्य रूप से परमाणु हथियार अनुसंधान के लिए १९५२ में की गई थी। यह ईयूवी लिथोग्राफी में भी एक केंद्रीय भागीदार रहा है: १९८० और १९९० के दशक में, लिवरमोर के भौतिकविदों ने बहु-परत मोलिब्डेनम-सिलिकॉन कोटिंग्स विकसित की थीं जो ईयूवी दर्पणों को संभव बनाती हैं।
Laboratorium nasional Departemen Energi AS di Livermore, California, didirikan tahun 1952 terutama untuk riset senjata nuklir. Lembaga ini juga berperan penting dalam litografi EUV: pada 1980-an dan 1990-an, fisikawan Livermore ngembangkan lapisan multilayer molibdenum-silikon yang memungkinkan pembuatan cermin EUV.
Laboratoire national du département de l'Énergie des États-Unis situé à Livermore, en Californie, fondé en 1952 pour la recherche sur les armes nucléaires. Il joua aussi un rôle majeur dans la lithographie EUV : dans les années 1980 et 1990, ses physiciens développèrent les revêtements multicouches molybdène-silicium indispensables aux miroirs EUV.
カリフォルニア州リバモアにある米国エネルギー省傘下の国立研究所。主に核兵器研究を目的として1952年に設立された。EUV露光技術の開発においても中心的な役割を果たしており、1980年代から1990年代にかけて、同研究所の物理学者たちがEUV反射鏡の実現に不可欠な「モリブデンとケイ素による多層膜コーティング技術」を開発した。この成果は後にEUV LLCコンソーシアムを通じて産業界へ技術移転された。
Ливерморская национальная лаборатория им. Лоуренса Министерства энергетики США в Ливерморе, основанная в 1952 году для исследований ядерного оружия. Она также сыграла ключевую роль в литографии EUV: в 1980–1990-х годах ее физики разработали многослойные молибден-кремниевые покрытия, сделавшие возможными зеркала EUV.
Ein nationales Labor des US-Energieministeriums in Livermore, Kalifornien, das 1952 primär für die Kernwaffenforschung gegründet wurde. Es war auch ein zentraler Akteur bei der EUV-Lithografie: In den 1980er und 1990er Jahren entwickelten Physiker in Livermore die Molybdän-Silizium-Mehrfachbeschichtungen für EUV-Spiegel, die später über ein Konsortium an die Industrie lizenziert wurden.
캘리포니아주 리버모어에 위치한 미국 에너지부 산하 국립연구소로, 1952년 주로 핵무기 연구 개발을 목적으로 설립되었다. 반도체 EUV 노광 공정 기술 개발사에서도 매우 핵심적인 역할을 수행했는데, 1980년대와 90년대에 걸쳐 이곳의 물리학자들이 EUV 반사경 성능을 좌우하는 결정적 기술인 '몰리브덴-실리콘 다층 박막 코팅 공정'을 최초로 개발해 냈다. 이 특허 기술은 훗날 EUV LLC 컨소시엄을 통해 산업계에 이전되었다.